非接触厚さ測定装置・非接触搬送・金属部品加工・マシニング加工・旋盤加工・メカトロ装置設計製作・真空吸着ツールスタンド

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半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素Ga)砒素(As)）・ガラス・金属等の高精度非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）のOZUMAシリーズに新しいラインアップが加わりました。非接触厚さ測定装置OZUMA　CLは、半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム(Ga)砒素(As)）等の裏面研磨工程における厚さ（厚み）管理用として、あるいは各製造工程における厚さ（厚み）管理用として非接触測定で御使用いただけます。　

分解能は0.01μｍ。

レーザー非接触方式なのでプローブ等が被測定物にキズを付ける心配がありません。非接触式なので同一被測定物を何度でも繰り返し厚さ（厚み）・ソリ・平行度等の測定ができます。上下に対向配置されたレーザーセンサーヘッドで測定するため被測定物の"ソリ"による浮き上がりに影響されにくく厚さを正確に測定できます。

その他、空気圧に限らず油圧、水圧等のユニットや様々なカスタマイズ用測定器（エアー、レーザー、分光干渉計、画像等）や試験機（振動・衝撃・耐久等）も製造しております。現在、人が手行っている作業を自動化したい等のご相談もお待ちしております。

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Please contact us when you need special customization of the system for your own specific needs.

非接触厚さ測定装置　OZUMA22

(Non-contact thickness measuring device)

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エアー背圧測定方式

OZUMA22　動画

半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素Ga)砒素(As)）・ガラス・金属等の高精度非接触厚さ測定装置（非接触厚み測定装置）のOZUMAが新しくなりました。非接触厚さ測定装置OZUMA22は半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム(Ga)砒素(As)）等の裏面研磨工程における厚さ（厚み）管理用として、あるいは各製造工程における厚さ（厚み）管理用として非接触測定で御使用いただけます。

分解能は0.1μｍ。

エアー背圧測定の非接触式なのでプローブ等が被測定物にキズを付ける心配がありません。非接触式なので同一被測定物を何度でも繰り返し厚さ（厚み）・ソリ・平行度等の測定ができます。上下の測定ノズルで測定するため被測定物の”ソリ”による浮き上がりに影響されにくく”厚さ（厚み）”を正確に測定できます。エアー背圧測定方式なので水濡れ状態でも正確に測定できます。また、膜付や色艶等の材質依存が無く非接触で簡単に厚さ（厚み）の測定ができます。鏡面・透明・半透明でも問題なく非接触厚さ測定（厚み測定）が可能です。OZUMA22にレーザーヘッドや分光干渉計を載せかえる事も可能です。

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真空吸着ツールスタンド　VSTS-WZ

（Vacuum Suction Tool Stand)

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多品種小ロット部品加工はお任せください。

中国語　：　CHINESE

世界的な精密測定機器メーカー株式会社ミツトヨの特許ライセンスを受けて開発いたしました。

真空吸着ツールスタンドとは、弊社が世界的な精密測定機器メーカー、株式会社ミツトヨの特許ライセンス（ミツトヨ特許[第4616563号]）許諾を受けて開発した世界で初めての強力真空吸着式ツールスタンドです。従来のマグネット式のツールスタンド（マグネットスタンド）は鉄製の定盤での使用に限られていますが、真空吸着ツールスタンドでは石やセラミックの定盤にも適用が可能です。

マグネットスタンドが使用できない石の定盤での測定には、大型で重いツールスタンドが使われており、精度測定の作業性が悪いです。しかし、真空吸着ツールスタンドは、小型・軽量で作業性が大幅に向上いたしました。真空ポンプは不要で簡単に吸着。どこの工場にでもあるコンプレッサによる圧縮空気を使用して小型真空発生装置（エジェクター）を介して真空引きすることにより強力な吸着力を発揮します。固定／吸着が自在に行え、エジェクターを押さえれば簡単に吸着／開放が可能です。

既にお持ちのマグネットスタンドを真空吸着ツールスタンドに載せれば石定盤・セラミック定盤等の上ですぐに使用が可能です。この真空吸着ツールスタンドの開発には、特許の発明者である株式会社ミツトヨのOB木村師匠に惜しみないアドバイスをいただき遂に製品化いたしました。他には無い製品です。是非、マグネットスタンドとは違う吸着力を体感してください。

真空吸着ツールスタンドは第１２回川崎ものづくりブランドに認定されました。　

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非接触搬送装置 　ひせっしょ君

(Non-contact handling device)

半導体用シリコンウエハやガラスなどを非接触搬送するためのハンドリングデバイスです。

ひせっしょ君の動画

「ひせっしょ君」は半導体用シリコンウエハやガラスなどを非接触搬送するためのハンドリングデバイスです。動画のアクリル板と黄色の丸板は接触しておりません。間に空気がはさまれ浮いた状態で搬送します。

ベルヌーイの定理による流体力学を応用し、噴出すエアーの作用で非接触ハンドリングいたします。真空ポンプは不要で、コンプレッサーのエアーを利用した画期的な非接触ハンドリングデバイスです。自動搬送、手動搬送のどちらにも対応可能です。

「ひせっしょ君」は下記の問題を解決します。
　*クロスコンタミネーション
　*ウエハーの破損やキズ
　*超薄物ウエハーの取り扱い
　*ウエハーの点接触保持
　*ウエハーの搬送機構
　*ウエハーの浮揚

「ひせっしょ君」の優位点
　→非接触で保持する
　→低価格である
　→保持力が強い
　→消費流量が少ない
　→エンジニアリング

非接触搬送原理図

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展示会に出展いたしました

OKUMA　MILLAC611VⅡ(5axis)

単品部品加工はお任せください！

５軸マシニングセンタを導入しました。X軸1,300　Y軸610　A軸　C軸付マシニングセンタ、NCフライス、NC旋盤、汎用旋盤等単品加工もＯＫ！

多品種小ロット部品加工はお任せください。

エアー・レーザー・分光干渉計を使用した測定装置ユニットの製造を承っております。その他、空圧制御、油圧制御、水圧制御等の機械装置の製造もご相談ください。

自動車ヘッドランプ用衝撃振動試験機(　The impulsive vibration testing machine for automobile headlamps )ASTM規格

お客様の仕様に合わせた自動車ヘッドランプ用衝撃振動試験機の設計をご提案できます。ASTM規格とはASTM International（米国試験材料協会：旧称 Americn Society for Testing and Materials）が策定・発行する規格です。弊社はASTM規格対応の衝撃振動試験機の実績が豊富です。ASTM standard correspondence Impulsive vibration testing machine.

ASTM規格衝撃振動試験機設計製造できます。

複合荷重（負荷）耐久試験装置

自動車部品の様々な方向から負荷をかけたり、厳しい条件の下での耐久試験を行うための耐久試験機も設計・製造の豊富な経験があります。

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佐々木工機株式会社

部品加工から機械装置製造までお任せください！