金属部品加工.自動化省力化装置設計製作
佐々木工機株式会社
 

新発売!

非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)OZUMA22

NON-CONTACT THICKNESS MEASURING DEVICE

非接触厚さ測定装置OZUMA22資料

<用途>

半導体用ウエハー(各種材料)シリコンSi.GaAsガリウム砒素等、ガラス・金属・化合物等の高精度非接触厚さ測定(非接触厚み測定)

<特徴>

1.エアー背圧方式 により非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能が可能で キズ・コンタミ等のダメージを与えない
2.膜付・色艶等 の材質依存がなく簡単に高精度の非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能
3.水濡れ状態 での高精度の非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能
4.鏡面・透明・半透明 でも 問題無く、高精度の非接触厚さ測定(非接触厚み測定)が可能
5.上下の測定ノズルで測定 する為 被測定物の ”ソリ” による浮き上がりに
   影響されにくく ”厚さ” を正確に測定できます。
  (オプションにて ”ソリ” 測定も可 (*1) )
6.操作が簡単 なので測定や校正(*2)が非常に簡単に行なえます

<測定原理>

測定原理図


<性能>

  分解能      0.1μm
  繰返し精度  10回繰返し連続測定時の標準偏差(1σ) 0.3μm以下
  測定範囲    max.10mm (*3)
  供給エネルギー  電源 AC100V 50/60Hz 3A
            クリーンエアー  0.4MPa  20NL/min.   (*4)


<基本構成>
非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)の標準機は、次の機器がセットになっています。
@ 非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)本体・・・・・・・・・・・・・・ 1式
A 測定テーブル(載物台)・・・・別紙”テーブルの種類”から選択・・・・・・・ 1式
B 制御BOX(別置き型)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
C 手元操作スイッチBOX・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式

D 表示器(7"カラー液晶タッチパネル) 又は 計測制御用パソコン・・・・・・・・・・1式
E 接続ケーブル類・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
F 校正ゲージ (厚さご指定)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1個
G 計測制御用標準ソフト・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
用途に応じ 上記の他  ”オプション一覧表” から オプション品の選択が可能です。 

(注)

*1 ソリ測定は、ソリの程度やワークの剛性により測定出来ない場合がありますので 
    詳細は、お問合せください
*2 校正は、市販のブロックゲージも使用できます
*3 測定範囲は、標準機でmax.10mmですが オプションにて10mm以上のものも可
    (但し 測定動作範囲は、10mmです)
*4 クリーンエアーは、測定ノズルから直接被測定物に吹きかかる為エアー品質には留意してください
    測定圧力は、15〜20KPaです。

 


非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)”OZUMA22” 

テーブル種類 及び オプション一覧表

<標準機用テーブル種類>

標準機には、測定テーブルが付属されますので次の表から1つ選択してください

方式年1回の検査・点検・保守を5年間継続 テーブル型式
固定 TK☆-△
手動Yテーブル (前後可動) TMY☆-△
手動Y-θテーブル (前後及び旋回±120°可動) TMYR☆-△
手動X-Yテーブル (前後左右可動) TMXY☆-△
電動Yテーブル (前後可動) TAY☆-△
電動Y-θテーブル (前後及び旋回±120°可動) TAYR☆-△
電動X-Yテーブル (前後左右可動) TAXY☆-△
特殊仕様 (*Q) TZ

☆サイズ形番  △材質形番

サイズ形番  2(0.5〜2”)、5(3〜5”)、8(5〜8”)、12(8〜12”)
材質形番  A(アルミ・アルマイト)、P(POM)、E(PEEK)、S(SUS)、F(PTFE)、J(セラミック)、Q(指定・特殊仕様)

<オプション>

オプション名 オプション型式 内容
吸着テーブル VN.. 上記テーブルにワークの吸着機構を付加します(*1)
レーザーポインタ LM.. 測定目標位置をレーザーポインタで照射
厚さ分布特性表示ソフト DR.. 多点計測時の厚さ分布を3次元グラフ表示します
ソリ測定ソフト WP.. ソリ測定の為のハードとソフトです
ユーザー指定フォーマット表示 FM.. お客様ご指定のフォーマットに計測データを表示
データ転送ソフト LN.. 上位から測定結果を取出せる様にします
バーコードリーダー BR.. バーコードによるS/NやLot管理に利用できます(*2)
プリンタ PR.. 計測結果を印刷します
極細測定ノズル SN.. MEMS等の穴底厚測定等の測定スポット径を小さくしたい場合
供給エアー調質機器セット DA.. エアドライヤ・フィルタ等調質機器1式を組み立てたものです
真空発生装置 VS.. 吸着機構用真空発生機器1式を組み立てたものです(*3)
CtoC 自動搬送 CZ.. 全自動計測システムです(*Q)
校正ゲージ 書類添付 GS.. 検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ証明書添付
該否判定書 ED.. 輸出用該否判定書の発行
定期保守契約 MT.. 年1回の検査・点検・保守を5年間継続

(*1)VNには、真空源は含まれません。お客様の真空ラインを使用させて頂きます。
(*2)FMが加算されます
(*3)VNが加算されます
(*Q)個別に仕様お打合せをさせて頂きます

<非接触厚さ測定装置(非接触厚み測定装置)OZUMA22 型式表記>

   OZUMA22−テーブル型式−オプション型式−オプション型式−・・・

   (例) OZUMA22−TMY5−A−VN−FM

   型式解釈→3〜5”用アルミ材手動Yテーブルが搭載されたOZUMA22で ユーザー指定フォーマット表示・吸着機構付のもの  

<その他特殊仕様>

   上記の他特殊な仕様をご希望される場合は、お問合せください


                                                      2012.01.06 Ver.1

NON-CONTACT THICKNESS MEASURING DEVICE

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